小型烘膠臺(tái)定制,恒溫烤膠臺(tái)說(shuō)明對(duì)一些溫度敏感材料(如晶體、半導(dǎo)體、陶瓷等)進(jìn)行加熱和裝卡尤為適用。設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,操作簡(jiǎn)便,安全可靠,是從事半導(dǎo)體熱處理、材料研究生產(chǎn)、溫度干燥試驗(yàn)等。
小型烘膠臺(tái)定制,恒溫烤膠臺(tái)說(shuō)明
恒溫烤膠臺(tái)可在光刻工藝中的涂膠后的軟烘,暴光后烘,顯影后的堅(jiān)膜,磨片粘片熔臘等,它采用整體鑄造,加熱板作為加熱體,增強(qiáng)了設(shè)備的安全性。又名烘膠臺(tái),烤膠臺(tái),加熱平臺(tái),烤膠板,熱臺(tái),熱板等。
烘膠臺(tái)對(duì)一些溫度敏感材料(如晶體、半導(dǎo)體、陶瓷等)進(jìn)行加熱和裝卡尤為適用。設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,操作簡(jiǎn)便,安全可靠,是從事半導(dǎo)體熱處理、材料研究生產(chǎn)、溫度干燥試驗(yàn)等。
小型烘膠臺(tái)定制,恒溫烤膠臺(tái)說(shuō)明
程序控制器運(yùn)作,可選擇加熱,冷卻和停止階段,可以進(jìn)行編程;
利用微電腦處理,實(shí)現(xiàn)加熱程序編輯和控制;
程序記憶功能;
可長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)工作;
加熱面積大,加熱均勻型好,升溫快;
特殊防腐材料,耐腐蝕,使用壽命長(zhǎng);
加熱面積尺寸:160mm*160mm、220mm*220mm多尺寸定制
溫度分辨率 :0.1℃
溫度波動(dòng)度:≤±0.5℃
溫度均勻性:≤±0.5/1、1%℃
電源輸入:AC220V 10A
加熱功率:1500W
控溫范圍:室溫--200、300/400/500/600℃
可選配
真空腔體;
加裝PIN柱;
觸摸屏控制;
氮?dú)鈿夥盏取?/span>
一.概述:
可程式勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動(dòng)迅速等優(yōu)點(diǎn),并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。
二.特點(diǎn)
1.結(jié)構(gòu)緊湊,適合直接放于手套箱內(nèi)操作;
2.7寸全彩觸摸屏,高級(jí)PLC控制,設(shè)置一鍵啟動(dòng)按鈕, 操作方便;
3.可單步和多步勻膠操作;
4.工業(yè)級(jí)馬達(dá),旋轉(zhuǎn)平穩(wěn),運(yùn)行穩(wěn)定;
5.溶劑PC透明蓋;
6.真空泵與勻膠機(jī)同步工作,勻膠機(jī)旋轉(zhuǎn),真空泵就啟動(dòng),勻膠機(jī)停止,真空泵就停止;
7.設(shè)置有開(kāi)機(jī)密碼功能,提高設(shè)備操作安全性;
8.左上面配有載物槽,(φ28深16)放藥水瓶方便。
三.技術(shù)參數(shù)
1.外形尺寸:335mm(D)x228mm(W)x215mm(H)
2.標(biāo)配三種真空吸盤(φ10mm,φ25mm,φ45mm)
φ10mm吸盤(可載基片最小φ10mm 最大φ25mm)
φ25mm吸盤(可載基片最小φ25mm 最大φ47mm)
Φ45mm吸盤(可載基片最小φ47mm 最大φ55mm)
3.速度可調(diào)范圍:300-10000rpm
4.減速可調(diào)范圍:1000-3000RPM/S
5.轉(zhuǎn)速分辨率:1RPM
6.旋轉(zhuǎn)時(shí)間范圍:1-3000S
7.加速可控范圍:300-5000RPM/S
8.可編程5組5步程序
9.真空輸入:0.06-0.09Mpa,真空流量最小15L/Min
10.真空接口:設(shè)備后面板出口外徑6mm
11.電源輸入: 220V 150W